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硅加工制造业供电系统电能质量时间:2020-03-26 01:08:53   来源:紫电捷控电气   作者:

常用的负载炉型有:单晶炉、真空炉、多晶炉、中频炉等。其生产工艺通常分为熔融加热和直流加热,熔融加热多采用中频加热炉,直拉式单晶多采用直流加热炉。但不论是中频炉还是单晶炉均采用半导体可控整流方式,会产生非常大的电流谐波,对电网造成谐波污染,使得精密仪器精度失准甚至误动作,破坏了系统的无功补偿,造成系统供电损耗的增加及损坏补偿电容器等,对于单晶硅的加工流程造成非常大的影响,因此电网的品质间接决定着成品材料的品质,几乎所有的单晶硅制造生产线都面临谐波问题。低压配电设备铸锭炉:负载谐波含量大。

常用的负载炉型有:单晶炉、真空炉、多晶炉、中频炉等。其生产工艺通常分为熔融加热和直流加热,熔融加热多采用中频加热炉,直拉式单晶多采用直流加热炉。但不论是中频炉还是单晶炉均采用半导体可控整流方式,会产生非常大的电流谐波,对电网造成谐波污染,使得精密仪器精度失准甚至误动作,破坏了系统的无功补偿,造成系统供电损耗的增加及损坏补偿电容器等,对于单晶硅的加工流程造成非常大的影响, 因此电网的品质间接决定着成品材料的品质,几乎所有的单晶硅制造生产线都面临谐波问题。

低压配电设备

铸锭炉:负载谐波含量大。总失真度高达 30%,但主要集中在 5、7、11、13、17、19 次,其中又以5、7、11 次最为严重。属于波动性负载,波动迅速频繁;运用传统的无源滤波器根本满足不了快速跟踪的要求,功率因数一般为 0.8 左右。 中频炉:负载谐波含量大,总失真度最高达到了 30%以上;基本上属于稳定负载,仅在出炉、升温时会有波动,谐波主要集中在 5、7、11、13、17、19、23 次,其中又以 5、7、11 次最为严重;中频炉一般运行在 1KHz~2KHz,因此谐波的频谱范围很宽,不仅存在大量低次谐波,如 5、7、11 次等,大于 25 次的高次谐波也大量存在,具体表现在系统电压上含有大量毛刺;功率因数非常低,一般在 0.7 左右,面临高额无功罚款;中频电源的整流电路在换流时刻会产生很大的电压缺口,失真度严重超标,

电抗器制造

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